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造水・純水･超純水
| 処理名称 | 対象物質 | 元素記号、等 |
| イオン交換処理 | 純水製造 |
比抵抗、導電率 |
| 精密・限界ろ過膜（MF、UF） | 純水製造 |
比抵抗、導電率 |
| 逆浸透膜（ RO ）処理 | 比抵抗、導電率 |
| 電気再生式イオン交換装置（EDI） | 純水製造 |
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