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造水・純水・超純水
処理名称 | 対象物質 | 元素記号、等 |
イオン交換処理 | 純水製造 |
比抵抗、導電率 |
精密・限界ろ過膜(MF、UF) | 純水製造 |
比抵抗、導電率 |
逆浸透膜( RO )処理 | 比抵抗、導電率 |
電気再生式イオン交換装置(EDI) | 純水製造 |
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